半導體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀的選擇

　　背景：

　　半導體芯片對現代社會(huì )的重要性不言而喻，是支持5G，物聯(lián)網(wǎng)，AI，自動(dòng)駕駛汽車(chē)，智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著(zhù)芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來(lái)越精細，更嚴格的規范和生產(chǎn)誤差。反過(guò)來(lái)，這將更加依賴(lài)于監測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能，盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報廢的風(fēng)險。

　　被稱(chēng)為半導體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)的良好選擇，它參與蝕刻、清洗、外延生長(cháng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等，隨著(zhù)芯片制造工藝的小型化，半導體生產(chǎn)對電子氣體的純度提出了更高的要求。相關(guān)文章見(jiàn)電子氣體純度監測。

　　氣體中的露點(diǎn)測量是一個(gè)挑戰，以99.9999%的高純氮氣為例，其水分含量低于1ppm，也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中，不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量，對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個(gè)真正的考驗。在過(guò)往，高精度的水分儀往往伴隨著(zhù)高成本，而隨著(zhù)金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā)，在精度和成本上的選擇不再是魚(yú)和熊掌不能兼得的困境。

　　金屬氧化物陶瓷濕度傳感器：

　　密析爾研發(fā)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù)，借鑒半導體領(lǐng)域的厚薄膜技術(shù)，把整個(gè)傳感器構建在堅固穩定的陶瓷基座上?；诙嗫赘袧駥訉λ肿拥奈?，通過(guò)感受水氣分壓得出（工況下）水露點(diǎn)值。該吸濕活性層如同“三明治"一樣被夾在陶瓷基底上的兩個(gè)導電層之間，厚度僅不到一微米，而頂部金箔層只允許水分子自由進(jìn)入傳感器，且與多孔導電層相比更薄。因此，當周?chē)h(huán)境的濕度發(fā)生變化的時(shí)候，傳感器對濕度變化會(huì )有非常靈敏的反應。它能夠檢測超高純度氣體中低至百萬(wàn)分之幾的微量水分含量。

　　高純氣體露點(diǎn)變送器：

　　基于金屬氧化物陶瓷濕度傳感器技術(shù)，密析爾推出了應用于不同環(huán)境的水分儀。今年推出的新品Pura Advanced Online 2高純氣體露點(diǎn)變送器對半導體生產(chǎn)商來(lái)說(shuō)是一個(gè)不錯的選擇，可以在化學(xué)氣相沉積、蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程中監測露點(diǎn)。

　　Pura具有很好的穩定性和重復性，可以測量低至-120°Cdp，在-60°Cdp時(shí)精度為±1°C，對過(guò)程環(huán)境的變化可以快速響應。此外，新傳感器還提供本安版本，具有ATEX，UKCA和IECEx認證。

　　根據客戶(hù)的應用要求和預算，Pura高純氣體露點(diǎn)變送器可配先進(jìn)、經(jīng)濟的顯示表。

　　隨著(zhù)芯片變得越來(lái)越小和更加精密，選擇能夠保證一致的生產(chǎn)環(huán)境，符合嚴格工藝流程的儀器很關(guān)鍵。Pura Advanced Online 2等儀器能夠幫助廠(chǎng)商滿(mǎn)足日益嚴苛的要求。