水分是半導體制造過(guò)程中影響較大的污染物之— 準確測量水分、濕度和溫度

半導體制造業(yè)流傳著(zhù)一句話(huà)：“這不是火箭科學(xué)，但比火箭科學(xué)難多了！"雖是玩笑話(huà)，卻從一定程度上反映了事實(shí)：半導體制造過(guò)程既復雜又耗時(shí)，制造周期長(cháng)達 12 到 20 周。制造半導體所需的初期投資巨大，制造流程需要的設備非常昂貴。在新一輪投資周期開(kāi)始之前，一個(gè)制造周期通常會(huì )持續大約六年，并且整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的利潤率相對較低，這意味著(zhù)只有高產(chǎn)量才能保證盈利。因此，避免生產(chǎn)廢品和不良品至關(guān)重要。

水是半導體制造過(guò)程中影響較大的污染物之一，一些預估表明，不合適的濕度條件造成的損失占收入損失的 25%。為避免產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量出現問(wèn)題，在半導體制造過(guò)程中必須尤為謹慎地監測濕度和溫度水平。維薩拉的高精度測量解決方案適用于制造工藝流程中的關(guān)鍵步驟，響應非常迅速，且能夠適應各種環(huán)境條件。在本篇文章中，我們將介紹濕度、水分、微量水分相關(guān)濕度、露點(diǎn)和霜點(diǎn)等參數。

高科技納米級半導體制造

對于高科技納米級半導體制造等超純應用，在去除灰塵、油脂和其他污染元素等雜質(zhì)后，可能會(huì )殘留微量水分。這可能會(huì )對產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生負面影響。雖然不可能全消除流程中的每一個(gè)水分子，但我們應該借助準確測量工具很大程度上減少水分含量。

潔凈室暖通空調

潔凈室暖通空調 (HVAC) 系統通常內置在空氣處理裝置或風(fēng)扇過(guò)濾裝置中。水分可能會(huì )污染工藝過(guò)程、與工藝過(guò)程中的化學(xué)品發(fā)生反應或導致靜電放電 (ESD) 問(wèn)題。某些情況下需要達到 +/?2% 的相對濕度測量準確度以及 +/?0.25°C 的溫度測量準確度。維薩拉變送器非常適合用于控制通風(fēng)機內部或潔凈室墻壁上的空調機。

根據在潔凈室中進(jìn)行的工藝過(guò)程，目標濕度和溫度可能有所不同。維薩拉的 HUMICAP® 傳感器技術(shù)在任何環(huán)境下的響應都非常迅速，而且準確度高，具有出色的長(cháng)期穩定性和較長(cháng)的維護間隔。HUMICAP 傳感器基于聚合物薄膜技術(shù)，并且在維薩拉自己的潔凈室中制造。

工藝管線(xiàn)氣體質(zhì)量

潔凈室操作需要高質(zhì)量的過(guò)程氣體，監測工藝管線(xiàn)氣體中的濕度水平可防止可能導致材料損失的水分污染。目標通常是盡量降低含水率，為此要監測的正確參數是露點(diǎn)。選擇傳感器時(shí)，響應速度快和耐冷凝特性非常重要，因為這二者有助于確?？煽坎僮?，即使在長(cháng)時(shí)間停機后還能實(shí)現工藝過(guò)程平穩加速。

維薩拉 DRYCAP® 技術(shù)采用我們專(zhuān)有的聚合物薄膜技術(shù)，該技術(shù)可實(shí)現高靈敏度、針對各種環(huán)境和應用進(jìn)行靈活優(yōu)化，即使在惡劣環(huán)境下也具有長(cháng)期穩定性。凈化功能可以去除薄膜中不需要的殘留物，即使在次優(yōu)條件下也能確保長(cháng)期準確度。

維薩拉自動(dòng)校準功能使用專(zhuān)有設計和算法，可消除環(huán)境老化對傳感器結構的影響。長(cháng)期監測傳感器性能有助于傳感器糾正靈敏度變化，提高長(cháng)期穩定性，使其使用壽命遠遠超出傳統的傳感器，并減少惡劣環(huán)境條件對其性能的影響。維薩拉傳感器響應速度快，能夠在系統發(fā)生故障時(shí)迅速做出反應以防止材料損失。

壓縮空氣質(zhì)量

壓縮空氣潔凈度對于大多數工業(yè)設施的潔凈室環(huán)境至關(guān)重要，因此目標多余水分含量非常低：目標露點(diǎn)水平可低于 ?80 °C，通常系統會(huì )設置多個(gè)警報級別，一旦超出此目標水平即發(fā)出警報。維薩拉產(chǎn)品在整個(gè)測量范圍內都經(jīng)過(guò)嚴格測試和校準，以確保傳感器讀數高度準確，降低高成本的過(guò)度干燥風(fēng)險。維薩拉濕度傳感器單元的響應非常迅速，可以及時(shí)發(fā)出警報，使客戶(hù)能夠快速識別和解決任何問(wèn)題。